CVD反應爐的種類

CVD反應爐的種類有以下幾種：

1，熱絲 Hot Filament

2，直流電弧噴射 DC Arc Jet

3，微波等離子 Microwave Plasma

     前二種适合生長多晶薄膜。微波分為2.45GHz及0.915GHz兩種頻率， 後者可以做到數十到百KW的功率，其托盤直徑可達4-6英寸，較前者的生産效率（6KW，2英寸）高很多，大型設備是未來CVD爐的趨勢。